金融界2024年12月13日音问，国度学问产权局音信显示，深圳市智佳能主动化有限公司获得一项名为“一种晶圆盒清洁摆设”的专利，授权通告号 CN 222132919 U ，申请日期为 2024 年 2 月 。

　　专利摘要显示，本适用新型涉及一种晶圆盒清洁摆设，包罗用于撑持和相连各部件的底部机架以及顶部支架，顶部支架装配于底部支架的上方，顶部支架的操纵两头差异装配有风淋装备，顶部支架内装配有清洁输送装备，清洁输送装备一端装配有取放输送装备，顶部支架上位于清洁输送装备的两头还差异装配有主动门装备，底部机架的上方还装配有效于驾驭行动的驾驭箱。采用本适用新型时间计划，可竣工晶圆盒的主动输送清洁，配合天车进举措作，全程无需人为操作，全部解放双手，适用性更强。